Storyboard

Reducción de tamaño desde material bulk por vías mecánicas (molienda) u ópticas (litografía); el límite de difracción fija el tamaño mínimo alcanzable por vía óptica.

>Modelo

ID:('ky', 1687)

Storyboard

$d(t)=d_0e^{-kt}$

Variables

$k$

Constante de molienda

$1/s$

$d(t)$

Tamaño de partícula molida

$m$

$d_0$

Tamaño inicial

$m$

$t_{mill}$

Tiempo de molienda

$s$

>Modelo

ID:('gm', 14627)

Storyboard

$CD=k_1\frac{\lambda}{NA}$

Variables

$NA$

Apertura numérica

$1$

$k_1$

Factor Rayleigh

$1$

$CD$

Dimensión crítica litográfica

$m$

$lambda$

Longitud de onda exposición

$m$

>Modelo

ID:('gm', 14628)

Storyboard

$DOF=k_2\frac{\lambda}{NA^2}$

Variables

$NA$

Apertura numérica

$1$

$k_2$

Factor DOF

$1$

$lambda$

Longitud de onda exposición

$m$

$DOF$

Profundidad de foco

$m$

>Modelo

ID:('gm', 14629)

Descripción

Red de modelo

• Método alternativo
• Método tradicional
• Estrategia
• 2D
• 3D

Ecuación

Número

Primero, seleccione la ecuación:   a ,  luego, seleccione la variable:   a 

---

Símbolo

Ecuación

Resuelto

Traducido

Cálculos

Símbolo

Ecuación

Resuelto

Traducido

 Variable   Dado   Calcule   Objetivo :   Ecuación   A utilizar

Variables

$NA$

NA_lens

Apertura numérica

1

$k_2$

k2_lith

Factor DOF

1

$k_1$

k1_lith

Factor Rayleigh

1

$k$

k_mill

Constante de molienda

1/s

$CD$

CD_lith

Dimensión crítica litográfica

m

$lambda$

lambda_exposure

Longitud de onda exposición

m

$DOF$

DOF_lith

Profundidad de foco

m

$d(t)$

d_particle_t

Tamaño de partícula molida

m

$d_0$

d_0_mill

Tamaño inicial

m

$t_{mill}$

t_mill

Tiempo de molienda

s

ID:(0, 1687)